钼铜作为微电子材料的应用

钼铜微电子产品图片
钼铜合金(MoCu a钼铜和钨铜一样,均具有低的膨胀特性(钼的热膨胀系数5.0x10-6/℃,钨的热膨胀系数4.5x10-6/℃),又具有铜的高导热特性,其热膨胀系数和导热导电性能可通过成分调节。根据需要,两者均广泛用作集成电路、散热器、热沉材料。

热导率W/(m﹒k)

热膨胀系数10-6/K

密度g/cm3

比热导率W/(m﹒k)

WCu 140~210 5.6~8.3 15~17 9~13
MoCu 184~197 7.0~7.1 9.9~10.0 18~20
MoCu15 160 7.0 10
MoCu20 170 8.0 9.9
MoCu25 180 9.0 9.8
Mo 138 5.35 10.22 13.5
Cu 400 16.5 8.93 45

钼铜的制备工艺,与钨铜类似,目前主要有两种工艺:烧结熔渗法和粉末冶金法。

钼铜被广泛应用于集成电路,散热器和散热片及其他微电子材料。大功率的集成電路和微波器件要求高电导热导材料作为导电散热元件,同时又要兼顾真空性能、耐热性能及热膨胀系数等。钨铜和钼铜材料有由于其各项特性符合这些要求,因此是这方面应用的优选材料。

钼铜电子封装材料具有优良的导热性能和可调节的热膨胀系数,目前是国内外大功率电子元器件首选的电子封装材料,并能与Be0、Al203陶瓷匹配,广泛用于微波、通讯、射频、航空航天、电力电子、大功率半导体激光器、医疗等行业。

另外,在微波封装和射频封装领域,也大量采用该材料做热沉。在军用电子设备中,它常常被采用为高可靠线路板的基体材料。